如影随形

ASML的EUV光刻机实现纳米孔的全晶圆级制造，推动

发布时间：2025-12-22 11:25编辑：365bet体育注册浏览（54）

ASML EUV光刻机实现纳米孔全晶圆级制造，推动分子传感技术发展|分子传感技术|频道|UV|纳米孔|ASML EUV_手机网易 IT之家表示，纳米孔的特性在生物医学领域具有巨大的研究价值。从名字上不难看出，纳米孔本质上是直径只有几纳米的小通道。用更通俗的话解释一下：这种孔的直径约为人类头发丝的万分之一。这些小孔的用途是什么？基于分子与纳米孔相互作用的原理，可应用于生物医学传感器。纳米孔检测技术的基本原理是：测量流经纳米孔的离子电流；当分子通过对接孔时，电流会发生变化，其波动特征可以反映分子的尺寸、结构、电荷特性。nd 分子相互作用的模式；借助这种电信号的独特性质，可以高灵敏度地区分不同类型的分子。这样，通过强紫外光刻制备的纳米孔可以作为生物医学传感的“分子检查点”，允许检测和识别病毒、蛋白质和脱氧核糖核酸（DNA）等单分子。这一特性对于分子的准确识别和分析非常重要。此外，比利时微电子研究中心指出，调整固态纳米孔的尺寸还可以拓展其在过滤技术和分子数据存储领域的应用场景。 为什么要使用极紫外光刻设备？目前的纳米孔制备方法存在速度慢、实验室环境受限、成本高等缺点。比利时微电子研究中心的一篇论文表明，它已经成功地在全300毫米晶圆上制备了直径低至约10纳米的高度均匀的纳米孔。这一突破集大规模生产、高精度和可重复性于一身，有望解决纳米孔传感器技术实施的困难。 特别声明：本文由网易自媒体平台“网易号”作者上传发布，仅代表作者观点。网易仅提供信息发布平台。 注：以上内容（包括网上有的图片和视频）由网易号用户上传发布，网易号为社交媒体平台，仅提供信息存储服务。